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    JC48B_3轴大气晶圆校准器

    JC48B_3轴大气晶圆校准器,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    产品描述


    3轴大气晶圆校准器
    JC48B_JC系列半导体机器人
     
    • 采用闭环伺服控制
    • 晶圆固定方式:真空吸附

    校准晶圆尺寸

    Φ100-Φ200mm

    校准精度

    晶圆中心:±0.1mm
    晶圆缺口:±0.1°

    校准时间

    3sec

    美高梅(MGM)能源众为兴JC48B_3轴大气晶圆校准器

    关键词:

    美高梅(MGM)能源众为兴JC48B_3轴大气晶圆校准器

    规格参数

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