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    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人

    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
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    • 产品描述
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      • 商品名称: AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
      • 产品: 半导体机器人
      • 应用: 真空晶圆系列
      • 负载: 1-2KG
      • 臂长: 200-499mm

      AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

      4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
      AHYB2110F_AHY系列半导体机器人
       
      • ● 高可靠真空隔离,从容应对高真空环境
      • ● 电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性
      • ● 高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度
      • ● 采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制
      • ● 同时实现双工位交换晶圆动作(Swap)

      臂长

      213.4mm

        额定/最大负载

       ≤1kg

      搬运物

      ≤Φ300mm晶圆

      美高梅(MGM)能源众为兴4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
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    关键词:

    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
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    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人


    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。


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