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    VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
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    • VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
    • 产品描述
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      • 商品名称: VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
      • 产品: 半导体机器人
      • 应用: 真空晶圆系列
      • 负载: 1-2KG
      • 臂长: 500-1000mm

      TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

      3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
      VA5204_VA系列半导体机器人
       
      • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
      • ● 采用闭环伺服控制
      • ● 末端执行器类型：下托式
      • ● 可选配免电池绝对式编码器

      •  

      臂长

      520mm

        额定/最大负载

       2kg

      搬运物

      ≤Φ300mm晶圆

      美高梅(MGM)能源众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    • 美高梅(MGM)能源众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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    VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

    TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

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